El sistema microelectromecánico (MOEMS), que integra el sistema electrónico micromecánico (MEMS) y el dispositivo óptico, hace que el dispositivo óptico se desarrolle rápidamente hacia la dirección de la miniaturización. El uso de la tecnología de micromecanizado puede obtener una alta precisión de procesamiento y puede hacer que varios actuadores, espejos ópticos y guías de onda ópticas se integren con láseres semiconductores, dispositivos de detección fotoeléctrica, etc. para formar un sistema optoelectromecánico activo, por lo que MOEMS es un campo de aplicación prometedor de MEMS. En comparación con los primeros interruptores ópticos tradicionales, puede lograr un rendimiento excelente, como una pequeña pérdida de inserción, un tiempo de conmutación corto y un bajo consumo de energía, y la apariencia es pequeña. Se puede producir en masa en una línea de producción de proceso Ic madura, lo que reduce en gran medida el costo.