El interruptor óptico MEMS es grabar una serie de pequeños espejos en el cristal de silicio. A través de la acción de la fuerza electrostática o la fuerza electromagnética, la matriz de microespejos se gira, cambiando así la dirección de propagación de la luz de entrada para realizar la función de encendido y apagado de la trayectoria óptica. El interruptor óptico MEMS cambia el enrutamiento de la onda de luz a través de la información de control externo y los niveles altos y bajos correspondientes para controlar si el microespejo interno se levanta o no.