¿Qué es MEMS? MEMS (micro sistema electromecánico) se refiere a los micro dispositivos o sistemas que se pueden fabricar en lote mediante la integración de micro maquinaria, micro actuador, procesamiento de señales y circuito de control. El proceso de preparación de la estructura micromecánica incluye litografía, grabado por haz de iones, grabado químico, unión de obleas, etc. al mismo tiempo, los electrodos se preparan en la estructura mecánica para el control a través de la tecnología electrónica.
MEMS es un tipo de sistema de micromotor. Después de preparar la estructura micromecánica, debe ser impulsada por tecnología electrónica. Los mecanismos de accionamiento típicos incluyen atracción electrostática, fuerza electromagnética, electrorestricción y termopar. Entre todos los mecanismos de accionamiento de los dispositivos MEMS, la estructura de atracción electrostática es la más utilizada debido a su sencilla preparación, fácil control y bajo consumo de energía.
El interruptor óptico MEMS es tallar una serie de micro lentes en el cristal de silicio y hacer que la matriz de micro espejos gire a través de la acción de la fuerza electrostática o la fuerza electromagnética, para cambiar la dirección de propagación de la luz de entrada para realizar la función de encendido y apagado de la ruta óptica. El interruptor óptico MEMS cambia la ruta de la onda de luz a través de la información de control externo y el nivel alto y bajo correspondiente para controlar si la microlente interna se levanta o no.
